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      反应离子刻蚀 RIE蜜桃人妻无码视频去胶机NE-RE08
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      产品简介

      NE-RE08是一款干法蜜桃人妻无码视频去胶设备,适用于4/6/8英寸晶圆光刻胶去除和灰化工艺。设备采用高密度RIE蜜桃人妻无码视频体刻蚀系统,具有去胶速率快、均匀性好、选择比高、不错的各向异性等性能优势。

      产品特点:1、设备采用RIE反应离子刻蚀模式,去胶速率快。2、全面积工艺气体入口喷淋头,径向(轴对称)抽气结构,确保能提升工艺均匀性和速率。3、水冷电极冷却系统实现衬底温度控制。4、直开式设计方便快速装卸圆。

      主要用途:1、用于8寸及以下的晶圆(SOI、SI、玻璃、铜片等其他半导体材料)正性及负性光刻胶去胶。2、聚酰亚胺光刻胶(PI)去胶。3、有机物去除。4、光刻工艺后,PR Descum 打底膜工艺

      5、基片表面蜜桃人妻无码视频活化(02\Ar)

      产品参数

      型号NE-RE08
      蜜桃人妻无码视频发生器

      13.56MHz/600W

      工作台尺寸
      Φ300mm(11.8inch)
      适用晶片尺寸8寸及以下
      刻蚀模式RIE
      均匀性± 5%
      反应气体标准配置2路,最大可配置4路。 O2、Ar、N2,CF4,Cl2等气体
      电极冷却方式水冷
      气体流量控制0-500sccm
      外形尺寸W1100×D1100×H1650(mm)
      电源AC220V,50/60Hz


      应用案例

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